特種氣體的供應方式截至目前為止，幾乎皆用鋼瓶的方式進行。一般常用的為高壓鋼瓶，依其填充的氣體特性有分為氣態(tài)和液態(tài)兩種。一般氣體依液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi)，瓶內(nèi)壓力較高，所以Z佳方式是選用吸附式氣態(tài)鋼瓶，其優(yōu)點為供氣壓力低于一個大氣壓，無任何泄漏的危險，且供氣量為普通高壓鋼瓶的10倍，低蒸汽壓的氣體以液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi)；針對易燃易爆，有毒性腐蝕性的氣體，常將鋼瓶至于特氣柜中，再通過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱，經(jīng)過一系列的控制而后進入用氣點；一般惰性氣體以開放式的氣瓶架和閥盤供應；具體方式如下：
現(xiàn)場制氣、管道供氣
這種供氣方式時將制氣設(shè)備建造在用氣量較大或者用氣品種較多的工廠內(nèi)或按區(qū)域設(shè)置供應周邊各單位用氣。工業(yè)氣體廠家
由集中制氣工廠制取的液態(tài)氣體由低溫液態(tài)氣體貯罐槽車運送至用氣工廠，再使用工廠設(shè)置低溫液態(tài)氣體貯罐，將液態(tài)氣體槽車中的液態(tài)氣體抽送入液態(tài)氣體貯罐貯存，根據(jù)工廠用氣量，液態(tài)氣體由貯罐送出經(jīng)汽化器化為氣體后，經(jīng)由調(diào)壓器組調(diào)壓并經(jīng)氣體過濾器送去使用車間，若氣體純度或雜質(zhì)含量不能滿足使用要求，則需要再在車間內(nèi)設(shè)置末端提純裝置，對氣體進行提純并去除雜質(zhì)，同時為滿足不同需求，還應在工廠使用車間末端或在車間內(nèi)集中設(shè)置不同過濾精度的氣體過濾器。
工業(yè)氣體廠家
外購氣體鋼瓶供氣
外購氣體鋼瓶集中存放在工廠的氣瓶間中，氣瓶中高壓氣體經(jīng)氣體總線，減壓閥組匯集，減壓至一定壓力經(jīng)氣體純化裝置純化后供氣。為確保連續(xù)供氣，氣體鋼瓶一般分為兩組，交替放氣，根據(jù)產(chǎn)品工藝要求，選擇滿足供氣品質(zhì)的氣體純化裝置或在用氣點處設(shè)置末端氣體純化裝置。
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